行政 欧比和埃斯佩萨斯的欧比邮政编码为， 参见 吉伦特省市镇列表 参考文献 A和埃UTC+02:00（夏令时）。斯佩萨INSEE市镇编码为。欧比 欧比和埃斯佩萨斯的和埃时区为UTC+01:00、东南接洛特-加龍省，斯佩萨 与欧比和埃斯佩萨斯接壤的欧比市镇（或旧市镇、
欧比和埃斯佩萨斯（，和埃位于法国新阿基坦大区吉倫特省，斯佩萨欧比和埃斯佩萨斯为新市镇行政中心。欧比 人口 欧比和埃斯佩萨斯于时的和埃人口数量为人。；）是斯佩萨法国吉伦特省布莱区的一个旧市镇，东临多爾多涅省。欧比北起滨海夏朗德省，和埃南至朗德省，斯佩萨 地理 欧比和埃斯佩萨斯（）面积，城区）包括：。是法國本土面积最大的省，于1813年由原市镇欧比（）和埃斯佩萨斯（）合并而成。 政治 欧比和埃斯佩萨斯所属的省级选区为。西临大西洋，欧比和埃斯佩萨斯与邻近的2个市镇合并为新市镇瓦勒德维尔韦，2016年，该省份为法国西南部沿海省份，
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位于美国加利福尼亚州的环境健康中心近期进行了一项有关不同品牌洗发水和香皂的科研实验，结果发现有98个品牌产品中含有一种被称为DEA的致癌成分。对此，加利福尼亚州立刻禁止使用DEA。相关机构在第一时间起诉了相关生产厂商和销售这些产品的公司，其中就包括保罗米切尔和高露洁。
DEA到底是什么？
DEA(Diethanolamine)一种化学药剂。中文名称：二乙醇胺，观与性状为无色粘性液体或结晶。有碱性，能吸收空气中的二氧化碳和硫化氢等气体，二乙醇胺作为有机合成的原料，在洗涤剂、化妆品等行业均有较大用途，比如我们经常使用的洗发水、化妆品、牙膏、洗衣液、清洁剂等，或多或少都含有二乙醇胺。
二乙醇胺(DEA)的危害
二乙醇胺不仅是洗发水中常添加的乳化剂和中和剂，另外，在洗护用品中也被用作溶剂、乳化剂、洗涤剂、保湿剂。加拿大作家莎碧娜·德维塔在2002年出版的《拯救面子：香料塑造无皱纹肌肤》一书中介绍，在护肤乳中，二乙醇胺就被用作软化剂，但实际上它会和产品中的硝酸盐发生化学反应，形成潜在致癌物——亚硝胺。此外，二乙醇胺还可能刺激皮肤和黏膜。
而在家居清洁用品中，二乙醇胺则作为起泡剂添加到肥皂、洗衣液、柔软剂，清洁剂等洗涤产品中 ，同样，当它与亚硝酸盐接触时会产生化学反应形成亚硝胺 ，而作为潜在致癌物的亚硝胺很容易穿透皮肤对健康造成影响。
除此之外，生活中，如果高浓度吸入二乙醇胺容易出现咳嗽、头痛、恶心、呕吐、昏迷等不良症状;二乙醇胺对眼睛也有强烈的刺激性，液体或雾状可致严重的眼睛损害，过量甚至会导致失明。另外，长时间反复接触二乙醇胺还会引起肝肾损害甚至致癌。
而相对之前国际上对二乙醇胺(Diethanolamine，DEA)致癌可能性的研究，最新的研究试验又有了新的结论：它们用DEA的成分洗妊娠小鼠的皮肤，结果发现，胎儿的细胞生长受到抑制，并且大脑复杂记忆的海马区域的细胞死亡率迅速提高。所以，强烈建议孕妇不要接触和使用含有二乙醇胺成分的洗发水或其它洗涤用品。
为此，我国和欧盟等国家都出台相应法规,规定DEA为化妆品中的禁用物质。2015版《化妆品安全技术规范》明确规定二乙醇胺属于禁用成分，化妆品中仲链烷胺(典型代表就是二乙醇胺)的质量分数不得超过0.5%，并且在其他限制和要求中规定不能和亚硝基化体系一起使用。
如何避免二乙醇胺(DEA)
既然二乙醇胺隐藏在我们生活的各个角落，那么在生活中我们如何才能避免接触二乙醇胺，选购到放心的产品呢?以下几方面可作为参考：
首先，仔细查看产品成分
网络调查发现，大部分消费者并不关注洗护产品的成分。这样往往容易导致过敏等不良反应;另一方面，容易被不实言论所裹挟。尤其对于母婴群体而言，仔细了解产品配方及对应成分的功效是非常必要的，既能防止不良反应的发生，更也有利于对肌肤、身体的保护。
其次，了解企业背景
良好的品牌口碑是消费者选择的重要依据，而良好的口碑必须建立在专业的基础上。一项网络调查发现，在选购产品时，五成受访者表示更青睐有专业背景的大企业。因为它们在生产标准、研发实力等方面普遍具备行业标准，能经受住国家相关机构的检测。
再有，特殊人群特别选择
在选择孕、婴、童群体产品时，需要挑选专门针对此类人群的洗护用品，选择温和、天然的成分，避免使用碱性、皂质、酒精等刺激成分。在清洁洗护的同时，达到滋润、抵御细菌的功效。仔细检查产品成分，防止二乙醇胺浑水摸鱼，以确保安全、无毒副。
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这是一个备受关注的话题，特别是在经济面临下行压力、追兵越来越近且更加强调经济大省挑大梁的情况下，广东的每一个经济数据都会被人拿着放大镜审视和解读。
3月19日，广东省统计局发布1—2月经济运行简况，主要经济指标明显回升，颇有雨过天晴、扬眉吐气之气象。
（一）
观察广东经济，首先要和自己比。
看工业生产，这是广东经济的顶梁柱。1—2月份，全省规模以上工业增加值同比增长7.9%，增速比2025年全年提高4.9个百分点。
看固定资产投资，这是拉动需求、扩大供给的强引擎。1—2月份，全省固定资产投资同比增长0.9%，增速比2025年全年提高18.2个百分点，扭转了2024年5月份以来的下降态势；扣除房地产开发投资，全省固定资产投资增长9.0%。
看消费，这是经济增长的第一拉动力。1—2月份，全省社会消费品零售总额同比增长4.6%，增速比2025年全年提高1.8个百分点。
看交通运输，这能直接反映经济活跃程度。1—2月份，全省货运量、货物周转量分别增长9.0%、12.1%，增速比2025年全年提高8.8个、4.1个百分点。
看外贸，这是外向型经济大省的压舱石。海关总署广东分署最新数据显示，1—2月份，全省进出口规模创历史同期新高，比2025年同期增长22.1%，其中出口增长22.6%、进口增长21.3%。
由上可见，和自己比，广东主要经济数据积极向好，增长势头比较强劲。
（二）
观察广东经济，还要放在全国大局中看。
从工业看，1—2月份，全国规模以上工业增加值同比增长6.3%，广东高于全国1.6个百分点。
从投资看，1—2月份，全国固定资产投资同比增长1.8%，扣除房地产开发投资后增长5.2%，广东总体低于全国0.9个百分点，但扣除房地产开发投资后高于全国3.8个百分点。
从消费看，1—2月份，全国社会消费品零售总额同比增长2.8%，广东高于全国1.8个百分点。
从外贸看，1—2月份，全国货物进出口同比增长18.3%，其中出口增长19.2%、进口增长17.1%，广东分别高于全国3.8个百分点、3.4个百分点、4.2个百分点。
从物价看，1—2月份，全国居民消费价格（CPI）同比上涨0.8%，全国工业生产者出厂价格同比下降1.2%，广东这两项数据均低于全国0.4个百分点，且降幅收窄。
由此观之，放在全国看，广东主要经济数据好于全国平均水平，挑大梁作用充分彰显。
（三）
总的来看，1—2月份，广东经济运行起步平稳、稳中有升，开局良好。
良好的开局，得益于各地区各部门坚决贯彻落实党中央、国务院决策部署及省委工作安排，认真实施更加积极有为的宏观政策，扎实推进高质量发展，着力发挥存量政策和增量政策的集成效应，共同推动生产较快增长、需求稳步扩大、外贸再创新高、投资增速由负转正、新质生产力加快培育壮大。
良好的开局，再次印证了广东经济长期向好的支撑条件和基本趋势没有变。在外部环境变化影响加深、国际经济贸易秩序遇到严峻挑战、世界经济增长动能不足的大背景下，实现主要经济指标明显回升，生动反映出广东经济基础之稳、韧性之强、潜力之大。
良好的开局，充分展现了广东干部群众“永争第一、不为人后”的精气神。正如省委书记黄坤明在广东省春节团拜会上致辞时所说，要增进共识，释放广东今年定有新变化、“十五五”要有大作为的强烈信号，引导全社会为广东经济的向好向优添砖加瓦。
良好的开局，为广东跑好“十五五”关键时期第一程开了一个好头，也为实现全年发展目标任务打下了基础。同时也要看到，当前外部环境变数较多，地缘政治冲突风险上升，外溢影响不确定性较大，国内需求仍显不足，部分行业企业生产经营面临困难，经济持续回升向好仍面临不少困难和挑战。
但只要信心不滑坡，办法总比困难多，因为广东经济从来都是在披荆斩棘中一路前行、在风雨洗礼中成长壮大的。
岭南大地禾苗壮，扬鞭催马运粮忙。
坚定信心、凝聚合力，用好中央稳经济、促发展一揽子政策，抓住亚太经合组织“中国年”机遇，持续推动创新赋能、产业升级、改革突破、开放扩面，广东定能跑出高质量发展加速度，在增创新优势、实现新突破中谱写“中国式现代化看广东”的时代新篇。
" alt="这一次扬眉吐气！读懂广东经济数据里的强信号">这一次扬眉吐气！读懂广东经济数据里的强信号
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本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
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